Mikroerschütterungen - wo sind sie ein Problem?
Hochempfindliche Messeinrichtungen, wie z.B. Rastertunnelmikroskope, müssen höchste Auflösungen und Genauigkeit aufweisen. Sie sind auf besondere Schwingungsfreiheit an ihrem Aufstellungsort angewiesen. Um diese Eigenschaft des Aufstellungsortes zu prüfen, müssen Schwingungen zuverlässig gemessen und nachgewiesen werden können.
Häufige Einsatzbereiche dieses Messkoffers sind:
- Halbleiterindustrieanlagen (Lithografie)
- Raster-Tunnel Mikroskope / Elektronen-Mikroskope
- Massenspektrometer
- Hochauflösende Mikroskope
- UHV Anlagen
- Bildgebende Medizintechnik (z.B. MRT)
Anwendungsbeispiele - Einsatzberichte:
Gebrauchstauglichkeit von Gebäuden Messung nach VDI2038
