Softwaremodul: InnoAnalyzer® Octave

Für die Überwachung hochempfindlicher Geräte, wie z.B. Elektronenmikroskope oder Lithografie-Anlagen hat sich eine Analyse der 1/3-Oktavbändern (Terzen) bewährt. Gerade im Bereich der Halbleiterindustrie wird diese Analyse eingesetzt. Für verschiedene Nutzungskriterien sind einzuhaltende Grenzwertkurven (sog. Vibration Criteria, VC-Linien) definiert. Insbesondere für Anwendungen in der Nano-Technik sind weiterführende Nano-Linien vereinbart. Die InnoAnalyzer Octave Module sind speziell für Überwachungen von VC- und Nano-Linien konzipiert.

Die InnoAnalyzer Octave ermöglichen die Darstellung von Schwingungskennwerten auf Terz-/Oktavbändern.

Oktavbandanalysen werden zudem für akustische Messungen eingesetzt. So können die (bewerteten) Pegel der einzelnen Bänder auf einem großen Frequenzbereich auf einen Blick erfasst werden.

Für Messungen auf Terz-/Oktavbändern um VC- und Nano-Linien nach VDI 2038 Teil 2 zu erfassen, sind Messgrößen, Einheiten und Grenzwertkurven (VC-A .. VC-G, Nano-D, Nano-E, Nano-EF) bereits voreingestellt. Zusätzlich zu angezeigten Effektivwerten können auch Spitzenwerte eingeblendet werden.

Für akustische Messungen können Frequenzbewertung für Effektiv- und Spitzenwerte sowie Grenzwertkurven frei gewählt werden.

Bandamplituden werden automatisch gefunden und aufgelistet, die Werte bei Bedarf auch direkt in der Grafik angezeigt. Zudem unterstützen zwei Cursoren mit Messwertanzeige bei der Analyse. Die Übernahme der Messkurve als Grafik oder als Wertpaare im Textformat in andere Anwendungen ist problemlos möglich.

Im unbeaufsichtigten Betrieb lassen sich die Analysen auf Terz-/Oktavbändern periodisch oder grenzwertabhängig speichern oder per E-Mail versenden.